利用等离子清洗机中的等离子体进行等离子清洗，所产生的等离子体的装置是在密封的容器里面设置多个电极的形成电场，利用真空泵达到一定的真空值，由于电场的作用，它们在发生了碰撞的时候形成了等离子体，由此产生的等离子体可以达到表面清洗处理的效果。特别适用于面积大，异型材料的清洗，可搭配多路工艺气体，满足不同工艺需求。可定制在线式真空等离子流水线。